DBC气氛烧结炉介绍

DBC气氛烧结炉用于铜和陶瓷基座直接键和的链式炉设备，总共含有16个温区，主要包括以下的配置:

用于产生N氮气气封和氮工艺环境的气路系统

带有MFC的氧浓度控制器（用于工艺区）

氧浓度测量和检测系统

设备具有以下专门针对高质量DBC生产的优势特点

非常均匀的温度均匀性

氧浓度的测量和控制系统

不产生颗粒灰尘的传送系统

使用温度RT-1100℃

炉膛均匀性优于±1℃

网带运行速度20-500mm/min数字可调

自动升温速率可调升温速率≤2℃/min

氮氧混合气体氧含量20-300pp可调

控温温区8-10温区

网带宽度200mm